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晶体管(transistor)是一种固体半导体器件,是规范操作电脑,手机,和所有其他现代电子电路的基本构建块。作为半导体工业不可或缺的材料,晶体管在生产时如果附着了灰尘会对生产出来的芯片造成不良反应,所以半导体晶体管的生产对车间要求很高。本文以EPC工程(总承包)集成服务商CEIDI西递某项目为例,具体谈谈半导体晶体管生产车间洁净工程。

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对于半导体器件来说,譬如绝缘栅双极型晶体管(Insulated Gate Bipolar Transistor,简称IGBT),需要外延层具有较高质量的晶体结构,而且对外延层的厚度、导电类型、电阻率及电阻均匀性等方面均有一定的要求。而半导体的电阻率一般随着温度、掺杂浓度、磁场强度及光照强度等因素的变化而改变,对生产场所要求非常高。相对其它工业建筑而言晶体管的内部装修设计难度较大。其涉及数百个制造工序,由于其生产技术的特殊性,为了产品的质量及使用寿命,对生产场所的环境,如温度、湿度,压力、通排风量、洁净度等都有严格要求。

送风系统

CEIDI西递在建设这个项目中,送风系统采用的是FFU系统,FFU系统的上静压箱相对于周围环境只是微正压,上静压箱内可以布置或穿越诸如排风和排烟等管道,使空间得到合理利用。而相比其他的送风系统如集中送风系统和隧道系统,FFU系统在灵活性、调控性、可靠性、气密性与空间利用方面优势显著。

环境参数设置

1、温度。因为过于干燥的厂房内极易产生静电,造成CMOS集成损坏,因此CEIDI西递将电子厂房的温度应控制在22℃左右。

2、细菌和其他生物污染(霉菌,病毒,真菌,螨虫)在相对湿度超过60%的环境中可以活跃地繁殖,一些菌群在相对湿度超过30%时就可以增长,所以CEIDI西递将湿度控zara制在处于40%至60%的范围之间时,可以使细菌的影响以及呼吸道感染降至最低。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

工作人员的净化路线为:

入口→换鞋→更换外出服→洗浴→清洁走廊→二次洗浴→换洁净服→风淋室→洁净生产区。

物品的净化路线为:

入口→原料库→粗洁净→传递窗→精洁净→传递窗→洁净生产区→传递窗→包装→成品库。

半导体晶体管车间的建设涉及的专业内容很多,需要依据工艺顺序配置不同级别的净化车间,不主张生搬硬套规范,需要因地制宜且根据实际产能要求计算能耗来组织设计装修,随着行业的发展,对洁净生产的要求也越来越严格。专注于洁净工程领域的EPC集成服务商CEIDI西递拥有经验丰富的团队和全方位成熟的服务,打造“经济、实用、安全、高效”的设计方案,为业主创造既满足工艺生产、又符合环保要求的车间环境。有需要的企业可以联系登录上海西递实业有限公司官网了解更多信息。

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